研究紹介- 三浦 英生 -



IT社会を支える各種機能デバイス,MEMS等のナノ・マイクロ構造体の機能や信頼性の発現メカニズムを,原子レベルの結晶構造から最終製品形態まで考慮して定量的に解明し,適切な構造・材料・プロセス設計を実現するための
解析・計測・評価技術の開発を推進している.
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