総説・解説記事- 清水 康雄 -
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[2015]
1.CVD/ALDを用いたCu(Mn)/Co(W)配線システムの構築と3次元アトムプローブによるサブナノ構造・バリヤ性評価.[電子情報通信学会 信学技報,114(469), (2015), 39-44]嶋紘平, 涂远, 韓斌, 高見澤悠, 清水秀治, 清水康雄, 百瀬健, 井上耕治, 永井康介, 霜垣幸浩
[2013]
2.3次元アトムプローブによる半導体ナノ構造の元素分布解析.[一般社団法人日本真空学会 真空学会機関誌「真空」,56(9), (2013), 340-347]清水康雄, 井上耕治, 高見澤悠, 矢野史子, 永井康介
10.3131/jvsj2.56.340
3.陽電子消滅および3次元アトムプローブによる原子炉圧力容器鋼の照射脆化機構に関する研究 -フィンランド・ロビーザ炉監視試験片を例として-.[日本陽電子科学会 陽電子科学誌,5(2), (2013), 41-46]外山健, 蔵本明, 野沢康子, Matti Valo, 清水康雄, 井上耕治, 長谷川雅幸, 永井康介
[2012]
4.レーザー3次元アトムプローブによる半導体材料中のドーパント分布解析.[一般社団法人日本物理学会 日本物理学会誌,67(9), (2012), 645-649]井上耕治, 清水康雄, 高見澤悠
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