総説・解説記事- 田中 秀治 -
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[2015]
1.今,なぜMEMSが注目されているのか.[金属,85(9), (2015), 683-685]田中秀治
2.Moving Tunable Filters Forward, IEEE Microwave Magazine.[IEEE Microwave Magazine, (2015), 89-97]Ken-ya Hashimoto, Tetsuya Kimura, Takeshi Matsumura, Hideki Hirano, Michio Kadota, Masayoshi Esashi
[2014]
3.Extremely Versatile, The micro system analyzer in the MEMS laboratory at Tohoku University Japan.[Polytec InFocus, (2014), 10-15]Shuji Tanaka
4.国際会議報告「IEEE MEMS 2014」.[次世代センサ,24(1), (2014), 14-19]田中秀治
5.Introductory Invited Paper Wafer-level hermetic MEMS packaging by anodic bonding and its reliability issues.[Microelectronics Reliability,54, (2014), 875-811]Shuji Tanaka
6.MEMS-LSI融合技術の触覚センサネットワークへの応用.[InterLab,110(Spring), (2014), 17-23]室山真徳, 巻幡光俊, 田中秀治, 小島貴裕, 中野芳宏, Travis Bartley, 中山貴裕, 山口宇唯, 山田整, 野々村裕, 畑良幸, 船橋博文, 江刺正喜
[2013]
7.ウェハレベル・ヘテロ集積化技術とその応用.[金属,83(9), (2013), 21-28]田中秀治, 平野栄樹, 門田道雄, 江刺正喜
8.Heterogeneous integration by adhesive bonding.[Micro and Nano Systems Letters,1(3), (2013)]Masayoshi Esashi, Shuji Tanaka
9.国際会議報告「IEEE MEMS 2013」.[次世代センサ,23(1), (2013), 14-19]田中秀治
10.Fuel Cells and Their Components based on Microsystem Technology.[Wiley Interdisciplinary Reviews, Energy and Environment,2, (2013), 350-362]Shuji Tanaka
11.MEMS分野の動向 集積化MEMS.[クリーンテクノロジー,23(4), (2013), 1-5]江刺正喜, 田中秀治
12.進展するMEMS技術 -集積化,パッケージング,オープンコラボレーション等-.[月刊ディスプレイ,2, (2013), 1-6]江刺正喜, 田中秀治
13.次世代センサに関連して振動アクチュエータの基礎を復習する.[次世代センサ,22(2), (2013), 14-17]田中秀治
[2012]
14.国際会議報告「IEEE MEMS 2012」.[次世代センサ,22(1), (2012), 14-18]田中秀治
[2011]
15.圧電音響デバイスの集積化.[超音波テクノ,24(3), (2011), 48-52]田中秀治, 江刺正喜
16.IMECのMEMS技術:多結晶SiGeを用いた集積化MEMS.[SEMI News,27(2), (2011), 13-14]田中秀治
17.超小形ターボ機械のための超高速気体軸受.[トライボロジスト,56(3), (2011), 9-14]田中秀治, 引地広介
18.MEMS技術.[科学と工業,85(2), (2011), 49-56]田中秀治, 江刺正喜
[2010]
19.マイクロ燃料電池.[高圧ガス,47(11), (2010), 57-]田中秀治
20.携帯燃料電池システムの開発.[機械の研究,6(8), (2010), 762-766]田中秀治, 吉田和司
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