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Books, Original Papers & Review Papers
Name
YOSHIDA Shinya
Affiliation
Graduate School of Engineering
Department of Robotics
Nanosystems
Smart System Integration
Title
Associate Professor
Research Fields
  • Micro/nanodevice
  • Functional materials/device
  • General applied physics
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Academic Society Membership
  • 日本機械学会
  • 電気学会
  • 応用物理学会
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Activity of Academic Society (Post)
  • 圧電MEMSデバイス調査専門委員会, 委員(2016-2019)
  • 電気学会 論文委員会(Eグループ), 論文委員(2014-)
  • 電気学会編修委員会第一部会, 委員(2015-)
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Original Papers

Epitaxial PMnN-PZT/Si MEMS Ultrasonic Rangefinder with 2 m Range at 1 V Drive.[Sensors & Actuators: A. Physical,266,(2017),352-360]Zhen Zhou, Shinya Yoshida and Shuji Tanaka
10.1016/j.sna.2017.09.058


Fabrication and characterization of large figure-of-merit epitaxial PMnN-PZT/Si transducer for piezoelectric MEMS sensors.[Sensors and Actuators A: Physical,239,(2016),201-208]Shinya Yoshida, Hiroaki Hanzawa, Kiyotaka Wasa, Shuji Tanaka
10.1016/j.sna.2016.01.031


Enhanced Curie Temperature and High Heat Resistivity of PMnN-PZT Monocrystalline Thin Film on Si.[Sensors & Actuators: A. Physical,251,(2016),100-107]Shinya Yoshida, Hiroaki Hanzawa, Kiyotaka Wasa, Shuji Tanaka
10.1016/j.sna.2016.10.009


Highly c-Axis Oriented Monocrystalline Pb(Zr, Ti)O3 Thin Films on Si Wafer Prepared by Fast Cooling Immediately after Sputter Deposition.[IEEE Transactions on Ultrasonics, Ferroelectrics, and Frequency Control,61(9),(2014),1552-1558]Shinya Yoshida, Hiroaki Hanzawa, Kiyotaka Wasa, Masayoshi Esashi, Shuji Tanaka
10.1109/TUFFC.2014.3069


Integration of Boron-Doped Diamond Microelectrode on CMOS-based Amperometric Sensor Array by Film Transfer Technology.[Journal of Microelectromechanical System,24(4),(2015),958-967]Takeshi Hayasaka, Shinya Yoshida, Kumi Y. Inoue, Masanori Nakano, Tomokazu Matsue, Masayoshi Esashi, and Shuji Tanaka
10.1109/JMEMS.2014.2360837


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Review Papers

PZT薄膜とPZT MEMS.[株式会社 アグネ技術センター 金属,85(9), (2015), (701)21-(707)27]吉田 慎哉,森山 雅昭


MEMSを活用した研究テーマの発掘.[技術情報協会 技術シーズを活用した研究開発テーマの発掘, (2013)]吉田慎哉


ダイヤモンド集積化LSIによるバイオセンシング・イメージング.[株式会社オプトロニクス社 InterLab,春(No. 110), (2014), 24-29]吉田慎哉、井上久美、末永智一


超並列電子線描画装置の開発.[アグネ技術センター 金属,83(9), (2013), 7-12]江刺 正喜、池上 尚克、小島 明、宮口 裕、西野 仁、越田 信義、吉田 孝、室山 真徳、吉田 慎哉


試作コインランドリにおけるプロセス開発と試作支援.[アグネ技術センター 金属,83(9), (2013), 13-20]戸津 健太郎、森山 雅昭、鈴木 裕輝夫、小野 崇人、吉田 慎哉、江刺 正喜


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Honours, Awards and Prizes
  • COI STREAM ガバニング委員会委員長賞(2017)
  • Outstanding Paper Award Finalist (約550論文中9位以内に入賞)(2017)
  • (一財)みやぎ産業科学振興基金 研究奨励賞(2015)
  • WPI-AIMR &IFCAM Joint Workshop, Poster Award(2008)
  • 主催者賞(第二回COI若手連携研究会)(2017)
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Web Site
http://www.mems.mech.tohoku.ac.jp/index_e.html
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Updated on
2017.11.24
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