研究者紹介
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著書論文等全件
氏名
戸津 健太郎
TOTSU Kentaro
所属
マイクロシステム融合研究開発センター
職名
准教授
副センター長
生年月
1977.03
学位
博士(工学)
研究分野
  • マイクロ・ナノデバイス
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研究課題
  • 試作コインランドリのシステム開発 (2010-)
  • 低応力成膜プロセス等の微細加工プロセス技術開発 (2010-)
  • グレイスケールリソグラフィの開発 (2004-)
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研究キーワード
微細加工,MEMS,センサ,マイクロシステム
所属学会
  • 日本機械学会
  • 電気学会
  • 日本エム・イー学会
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主要著書

経済産業研究所 経済政策レビュー 8 産学連携.[東洋経済新報社,(2003)]原山優子,和賀三和子,児玉俊洋,戸津健太郎


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主要論文

Ultra-Miniature Fiber-Optic Pressure Sensor Using White Light Interferometry.[J. Micromech. Microeng.,15,(2005),71-75]K. Totsu, Y. Haga, M. Esashi


Gray-scale photolithography using maskless exposure system.[J. Vac. Sci. Technol. B,23(4),(2005),1487-1490]K. Totsu, M. Esashi


Three-Axis Magneto-Impedance Effect Sensor System for Detecting Position and Orientation of Catheter Tip.[Sensors and Actuators A,111,(2004),304-309]K. Totsu, Y. Haga, M. Esashi


Electron Emission from Indium Tin Oxide/Silicon Monoxide/Gold Structure.[Jpn. J. Appl. Phys.,44(3),(2005),1414-1418]M. H. Mourad, K. Totsu, S. Kumagai, S. Samukawa, M. Esashi


Dynamic Braille display using SMA coil actuator and magnetic latch.[Sensors and Actuators A,119,(2005),316-322]Y. Haga, W. Makishi, K. Iwami, K. Totsu, K. Nakamura, M. Esashi


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主要総説・解説記事

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学術関係受賞
  • 2003年度日本コンピュータ外科学会講演論文賞(2004)
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学外の社会活動
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    ベンチャー企業設立
    • メムザス株式会社(2004)
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    ホームページ
    http://www.mu-sic.tohoku.ac.jp/coin/index.html
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    データ更新日
    2019.05.30
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