研究者紹介
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研究紹介

著書論文等全件
氏名
吉田 慎哉
YOSHIDA Shinya
所属
大学院工学研究科・工学部
ロボティクス専攻
ナノシステム講座
スマートシステム集積学分野
職名
准教授
学位
博士(工学)
研究分野
  • マイクロ・ナノデバイス
  • 機能材料・デバイス
  • 応用物理学一般
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研究キーワード
微細加工学, MEMS, マイクロ・ナノリソグラフィ,圧電MEMS,集積化MEMS
所属学会
  • 電気学会
  • 応用物理学会
  • IEEE
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学会活動・学会役員
  • 圧電MEMSデバイス調査専門委員会・委員(2016-2019)
  • 電気学会 論文委員会(Eグループ)・論文委員(2014-)
  • 電気学会編修委員会第一部会・委員(2015-)
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主要論文

Fabrication and characterization of large figure-of-merit epitaxial PMnN-PZT/Si transducer for piezoelectric MEMS sensors.[Sensors and Actuators A: Physical,239,(2016),201-208]Shinya Yoshida, Hiroaki Hanzawa, Kiyotaka Wasa, Shuji Tanaka
10.1016/j.sna.2016.01.031


Enhanced Curie Temperature and High Heat Resistivity of PMnN-PZT Monocrystalline Thin Film on Si.[Sensors & Actuators: A. Physical,251,(2016),100-107]Shinya Yoshida, Hiroaki Hanzawa, Kiyotaka Wasa, Shuji Tanaka
10.1016/j.sna.2016.10.009


Integration of Boron-Doped Diamond Microelectrode on CMOS-based Amperometric Sensor Array by Film Transfer Technology.[Journal of Microelectromechanical System,24(4),(2015),958-967]Takeshi Hayasaka, Shinya Yoshida, Kumi Y. Inoue, Masanori Nakano, Tomokazu Matsue, Masayoshi Esashi, and Shuji Tanaka
10.1109/JMEMS.2014.2360837


Highly c-Axis Oriented Monocrystalline Pb(Zr, Ti)O3 Thin Films on Si Wafer Prepared by Fast Cooling Immediately after Sputter Deposition.[IEEE Transactions on Ultrasonics, Ferroelectrics, and Frequency Control,61(9),(2014),1552-1558]Shinya Yoshida, Hiroaki Hanzawa, Kiyotaka Wasa, Masayoshi Esashi, Shuji Tanaka
10.1109/TUFFC.2014.3069


Fabrication and characterization of laterally-driven piezoelectric bimorph MEMS actuator with sol–gel-based high-aspect-ratio PZT structure.[Journal of Micromechanics and Microengineering,23(6),(2013),065014]Shinya Yoshida, Nan Wang, Masafumi Kumano, Yusuke Kawai, Shuji Tanaka and Masayoshi Esashi
10.1088/0960-1317/23/6/065014


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主要総説・解説記事

PZT薄膜とPZT MEMS.[株式会社 アグネ技術センター 金属,85(9), (2015), (701)21-(707)27]吉田 慎哉,森山 雅昭


MEMSを活用した研究テーマの発掘.[技術情報協会 技術シーズを活用した研究開発テーマの発掘, (2013)]吉田慎哉


ダイヤモンド集積化LSIによるバイオセンシング・イメージング.[株式会社オプトロニクス社 InterLab,春(No. 110), (2014), 24-29]吉田慎哉、井上久美、末永智一


超並列電子線描画装置の開発.[アグネ技術センター 金属,83(9), (2013), 7-12]江刺 正喜、池上 尚克、小島 明、宮口 裕、西野 仁、越田 信義、吉田 孝、室山 真徳、吉田 慎哉


試作コインランドリにおけるプロセス開発と試作支援.[アグネ技術センター 金属,83(9), (2013), 13-20]戸津 健太郎、森山 雅昭、鈴木 裕輝夫、小野 崇人、吉田 慎哉、江刺 正喜


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学術関係受賞
  • (一財)みやぎ産業科学振興基金 研究奨励賞(2015)
  • WPI-AIMR &IFCAM Joint Workshop, Poster Award(2008)
  • International Workshop on Nanomechanical Cantilever Sensors 2008, The best poster award(2008)
  • 第31回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム 優秀技術論文賞(2014)
  • 第5回「集積化MEMSシンポジウム」研究奨励賞(2014)
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報道
  • 東北大,導電性ポリマーを用いる次世代型高密度メモリを試作(その他 その他 日経BP社)(2005)
  • バイオLSIを開発:LSIとバイオMEMSの融合により実現(企画協力 その他)(2012)
  • 未来の検診グッズの開発 体温測る 錠剤センサ―(資料提供 新聞)(2017)
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学外の社会活動
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    オープンキャンパス・研究所公開等
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      ホームページ
      http://www.mems.mech.tohoku.ac.jp/
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      データ更新日
      2017.06.28
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